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      產品&服務 Products & services
      功率器件 Power Devices
        采用碳化硅、氮化鎵等寬禁帶新材料、IGBT及Super Junction等新結構制造的新一代功率器件,具有高速、低損耗的特點,在風電、光伏、有軌交通、調頻調速等新興產業上得到廣泛應用。具有節能、節材、環保等效益,未來市場前景廣闊。在功率器件領域,NAURA自主研發的薄膜/厚膜硅外延APCVD系統、刻蝕設備及金屬濺射PVD已獲得國內多家功率器件客戶的認可和批量采購;為多條功率器件生產線提供清洗解決方案;先進的臥式擴散/氧化系統可以滿足功率半導體領域特殊工藝的應用。
      等離子刻蝕設備 Etcher
      物理氣相沉積設備 PVD
      化學氣相沉積設備 CVD
      氧化擴散設備 Oxide/Diff
      清洗設備 Cleaning Tool
      輔助設備 Facility
      氣體測量控制 Gas Measuring Control
      原子層沉積設備ALD
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